एपिटैक्सियल वृद्धि का तात्पर्य एक क्रिस्टल के ऊपर दूसरे क्रिस्टल के निर्माण से है। प्रारंभिक क्रिस्टल की जाली संरचना, जमा किए गए क्रिस्टल की वृद्धि को निर्देशित करती है। सरल शब्दों में, एपिटैक्सियल वृद्धि एक एकल-क्रिस्टल सब्सट्रेट पर एकल-क्रिस्टल सामग्री की एक पतली परत (0.5 से 20 माइक्रोन) जमा करने की प्रक्रिया है, जो आमतौर पर रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) के माध्यम से की जाती है।
एपीटैक्सियल परतों के अनुप्रयोग क्या हैं?
एपिटैक्सियल परतों के अनुप्रयोग विभिन्न क्षेत्रों में हैं:
- असतत और पावर डिवाइस
- एमओएस उपकरणों के लिए एपिटैक्सियल
- एकीकृत सर्किट
- एपिटैक्सी का उपयोग CMOS VLSI सर्किटरी में भी किया जा रहा है।
- एपीटैक्सियल आकृतियों का उपयोग एकध्रुवीय उपकरणों जैसे जंक्शन फील्ड-इफेक्ट ट्रांजिस्टर (जेएफईटी), वीएमओएस और डीआरएएम प्रौद्योगिकी में भी किया जाता है।
सिलिकॉन एपिटैक्सी की कुछ तकनीकें क्या हैं?
सिलिकॉन एपिटैक्सी की कुछ तकनीकें हैं-
1. द्रव-चरण एपिटैक्सी: द्रव-चरण एपिटैक्सी (एलपीई) में क्रिस्टल को सब्सट्रेट पर विकसित करने के लिए विलयन तकनीक का उपयोग किया जाता है। सब्सट्रेट को विलेय विलयन की संतृप्त मात्रा में डुबोया जाता है। आधुनिक इलेक्ट्रॉनिक्स और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले कई क्रिस्टल , जैसे गैलियम आर्सेनाइड, इसी विधि से विकसित किए जाते हैं।
2. मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी (एमबीई): यह एक प्रायोगिक तकनीक है जिसका उपयोग विभिन्न क्वांटम पदार्थों की पतली फिल्मों को परत दर परत विकसित करने के लिए किया जाता है। एमबीई उपलब्ध सबसे स्वच्छ पतली फिल्म विकास तकनीकों में से एक है, लेकिन यह तकनीकी रूप से सबसे कठिन और चुनौतीपूर्ण तकनीकों में से भी एक है, क्योंकि एमबीई विकास अति-उच्च निर्वात (यूएचवी) वातावरण में होता है।
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