研究人员正在竞相开发新型、更优质、更高效的太阳能电池。在一次尝试中，科学家开发出了一种采用 PECVD 技术的 POLO 背结太阳能电池，效率高达 24.2%。
来自的团队 哈默林太阳能研究所 （ISFH）和德国光伏设备制造商 森特罗姆 合作。他们开发了高效的 n+ 型氧化物上多晶硅 (POLO) 背结太阳能电池。为此，使用了具有低频等离子体源的工业等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 系统。该装置的效率略高于通过更昂贵的原子层沉积 (ALD) 制造的参考装置。科学家使用 Centrotherm 的工业批量 LF-PECVD 系统沉积 AIOx 层。
该研究的主要作者， 闵秉雪 说： “我们的研究首次展示了一种有效的工业清洁和钝化方法，可对未扩散纹理正面进行出色的钝化质量。特别是，AlOx/SiNy 钝化层堆栈是使用工业等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 系统和低频 (LF) 等离子源制造的，这比原子层沉积 (ALD) 系统或高频 (HF) 等离子源的 PECVD 系统更具成本效益。”
核心亮点
- 采用 Czochralski 生长硅晶片掺杂的 POLO 背结太阳能电池测量 156.75 mm x 156.75 mm.
- 此 电阻率 硅晶片的阻值为0.73Ωcm。
- POLO 电池实现了：功率转换/效率（24.2%）、短路电流密度（40.2 mA/cm2）、填充因子（83.0%）和开路电压（725 mV）。这些结果已得到ISFH CalTeC的确认。
- 另一台设备 在电阻率为 0.9 Ωcm 的织构化镓掺杂 Czochralski 生长晶片上。它具有通过 ALD 沉积的 10 nm 厚的 AIOx 层和 SiN y 层。
- 这个设备 实现：效率（24.1%）、短路电流密度（39.9 mA/cm2）、填充因子（83.2%）和开路电压（725 mV）。
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根据研究人员， “将这种钝化序列整合到我们当前的 POLO BJ 太阳能电池工艺流程中，已在 POLO BJ 太阳能电池中得到成功验证，其电池效率甚至高于采用实验室规模工艺制造的参考电池。”
