提拉法是一种通过小心地冷却温度,同时缓慢地将晶种从熔融材料溶液中取出,从而制造出巨大、高质量的半导体晶体的工艺。
直拉法(Cz)通常被称为熔体拉制法或晶体拉制法。该方法首先将硅(Si)熔化,然后小心地使其冷却凝固成晶体。这种方法的优点是快速且易于控制。直拉法已成为生产高纯度单晶硅晶体的可靠方法,主要用于半导体和太阳能行业(在计算机行业中用于集成电路和微系统技术)。您将受益于所制备晶体的卓越性能和高质量。
提拉法是如何完成的?
首先,将高纯度多晶硅装入单晶拉制系统的石英坩埚中,然后在氩气控制环境下,利用电阻加热器将其加热熔化。待熔体温度(熔点约为1,412℃)稳定后,将旋转的单晶硅籽晶浸入熔体中。通过略微降低温度,启动籽晶上的硅结晶。随着籽晶被轻轻向上拉动,悬挂在其上的圆柱形单晶硅开始形成。通过控制温度和拉制速率,可以拉制出与籽晶具有相同取向和结构组成,且直径一致的单晶硅。
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